Produktionsstätte der Aixtron AG

Die AIXTRON AG fertigt am Standort Herzogenrath Anlagen nach dem sogenannten Epitaxy-Verfahren, einem speziellen Verfahren zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.
Die weltweiten Abnehmer der AIXTRON-Anlagen produzieren damit das Basismaterial für Hochleistungsmikrochips, die z. B. in der Automobil- und Raumfahrtindustrie, der Kommunikationselektronik oder der LED -Technik eingesetzt werden.

Die Produktion der technisch anspruchsvollen Anlagen stellt hohe Anforderungen an die Einhaltung der Fertigungsabläufe. Ein eigenes Konzept wurde entwickelt, um die sicherheitsrelevante Überwachung der einzelnen Fertigungsschritte zu garantieren, dies beinhaltet die komplexe Andienung der Fertigungsplätze mit verschiedenen Spannungsebenen je nach Erdteil, die Sicherheitsüberwachung der Gasversorgung für Wasserstoff, Argon , Stickstoff, Umlaufwasserkühlung, Maschinenabluft für den Testbetrieb, sowie die Überwachung mit Wasserstoffsensoren und optische Signalmelder für den Fertigungsbetrieb.
Die sicherheitsrelevante Überwachung und Visualisierung der Montageplätze realisierte die enervision GmbH in Zusammenarbeit mit Elektro Paland, Aachen.

Um die Zuverlässigkeit des Monitorings der Medienversorgungsanlagen unter der Maßgabe höchster Sicherheit und Verfügbarkeit für den Produktionsbereich zu realisieren war bei der Auswahl des Automationssystems von zentraler Bedeutung. Durch den Einsatz des LON-Feldbussystems und der damit möglichen Dezentralisierung der Automationsprozesse konnten die hoch gestellten sicherheitsrelevante Anforderungen zur Zufriedenheit des Auftraggebers erfüllt werden.

Die durch das rasante Wachstum des Auftraggebers vorgegebene kurze Umsetzungszeit zur Realisierung des Überwachungs- und Visualisierungssystems wurde termingerecht abgeschlossen und ist seit Juni 2000 im operativen Betrieb.

Highlights

Schaltung der Spannungsebenen: Anforderung, Aufschaltung, sicherheitsrelevante Verriegelung und Abwurf der Spannungsversorgung mit den entsprechenden Rückmeldungen

Gasmonitoring: Schaltung und Statusanzeige des Einsatzes und der Verfügbarkeit der technischen Gase an den Montageplätzen.

Zentrales Montageplatzmanagement: Sicherheitsrelvante Überwachung der Zustandskontrolle und Freigabe jedes Mediums für den jeweiligen Montageplatz über eine zentrale Leitwarte die durch berechtigtes Personal umgesetzt werden kann und zentralen Standorten für alle Bereiche visualisiert werden kann.

Sicherheitsniveau: Redundante Sicherheit durch sicherheitsrelevante Verknüpfung der diversen Betriebszustände während der Fertigungskette sowie der relevanten Medienversorgung

Technische Daten

  • 550 verbaute Knoten
  • ca. 12000 Datenpunkte
  • Topologie:
  • Backbone TP/XF1250 mit angeschlossenen FTT10- Segmenten
  • Eingesetzte Werkzeuge:
  • LonMaker, Loytec LPA, DIApro, DIAcon
  • Betroffene Gewerke:
  • Fabrikautomation, Elektroinstallation, Gasmonitoring, Visualisierung